Dettagli:
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Flusso/campo di pressione: | ±1000 sccm (1 SLPM) | Zero sopra l'intera gamma di temperature: | CC di ±0.20 sistemi MV |
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Ripetibilità: | lettura di ±0.50% | Tempo di reazione: | Spettrografia di massa tipica di valore 1 |
Evidenziare: | Micro misuratore di massa del gas del ponte,Misuratore di massa del gas di AWM42300V,Sensore termico di portata in peso del micro ponte |
micro sensore AWM42300V del misuratore di massa del gas del ponte di ±1000sccm
sensore AWM42300V di portata in peso del gas del Micro-ponte di ±1000sccm
Caratteristiche:
Il sensore di portata in peso del gas di Microbridge utilizza la resistenza termica avvolto in un film sottile del nitruro di silicio. Queste resistenze sono sospese e formano due ponti sopra la cavità d'incisione della lastra di silicio. Il chip è disposto nel migliore canale del flusso d'aria della specificazione per fornire la risposta ripetibile di flusso. Incidendo la cavità nell'ambito del flusso che percepisce il ponte, il radiatore e percepente la resistenza raggiunge l'isolamento termico efficiente. La piccola dimensione e la funzione termica di isolamento del sensore di portata in peso del gas del micro-ponte raggiungere risposta rapida ed alta sensibilità al flusso d'aria.
Misura del flusso d'aria di controllo del gemello-ponte di Wheatstone - una fornisce il controllo a circuito chiuso del radiatore, l'altra contiene gli elementi sensibili doppi. Il circuito del radiatore riduce la variazione dell'uscita dovuto la variazione di temperatura ambiente fornendo un'uscita proporzionale al tasso di portata in peso. Questo circuito mantiene la temperatura del radiatore ad una differenza della temperatura costante sopra la temperatura ambiente (°C) 160, che è misurato dalla resistenza termica sul chip. L'uscita del dispositivo è proporzionale alla tensione di rifornimento ed inoltre corrisponde alla tensione differenziale del circuito del ponte di Wheatstone.
Specifiche:
Tipo di interfaccia | collettore |
Consumo di energia | 60 Mw |
Compatibilità media | Gas asciutto soltanto |
Gamma di temperature della compensazione | -25°C a 85°C [- 13°F a 185°F] |
Persona di contatto: Xu
Telefono: 86+13352990255