AWM42300V Sensore di flusso d'aria di massa di gas microbridge per uscita analogica di gas secco

Descrizione del prodotto:

AWM42300V Sensore di flusso d'aria di massa di gas microbridge per uscita analogica di gas secco

Caratteristiche:

Sensore di flusso di massa di gas della serie AWM40000, non amplificato (mV), intervallo flusso/pressione: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Tipo di interfaccia: Manifold.

operazione

Il principio del sensore di flusso di massa di gas microbridge è il trasferimento di calore.La velocità di flusso di massa del gas è guidata attraverso la superficie dell'elemento di rilevamento.La tensione di uscita è proporzionale alla massa dell'aria o di altri gas che scorrono attraverso l'ingresso e l'uscita del pacchetto.Un alloggiamento appositamente progettato dirige e controlla in modo ottimale il flusso d'aria attraverso gli elementi di rilevamento microstrutturati.L'imballaggio è progettato meccanicamente per essere facilmente montato su una scheda di circuito stampato.

Il sensore di flusso di massa di gas microbridge contiene un chip di silicio avanzato basato su una tecnologia avanzata di microstruttura.Il chip utilizza una pellicola sottile e una struttura adiabatica di ponte con un elemento di riscaldamento e sensore di temperatura.La struttura del ponte può rispondere rapidamente e sensibilmente al flusso d'aria di aria o di altri gas che fluiscono attraverso il chip.Due elementi di rilevamento su entrambi i lati dell'elemento di riscaldamento centrale indicano anche la direzione e la velocità di flusso.La pellicola di spessore e la resistenza della pellicola corretta al laser garantiscono una intercambiabilità costante da sensore a sensore in ogni momento.

I sensori di flusso di massa di gas microbridge utilizzano resistenze termiche avvolte in pellicole di nitruro di silicio.Queste resistenze sono sospese, formando due ponti sopra la cavità di incisione del chip di silicio.Il chip è posizionato in un canale di flusso d'aria di dimensioni *** per fornire una risposta di flusso ripetibile.Il riscaldatore e la resistenza di rilevamento possono ottenere un isolamento termico efficiente graficando la cavità sotto il ponte di rilevamento del flusso.Le piccole dimensioni e la funzione di isolamento termico del sensore di flusso di massa di gas microbridge consentono di ottenere la massima velocità di risposta e un'elevata sensibilità al flusso d'aria.

Wheatstone Twin Bridges controlla la misurazione del flusso d'aria - uno fornisce il controllo del riscaldatore a circuito chiuso e l'altro contiene due elementi di rilevamento.Il circuito di riscaldamento riduce la variazione di potenza causata dalle variazioni della temperatura ambiente fornendo una potenza proporzionale al flusso di massa.Questo circuito mantiene la temperatura del riscaldatore a una differenza di temperatura costante al di sopra della temperatura ambiente (160°C), che è determinato dalla misurazione della resistenza termica sul chip.L'uscita del dispositivo è proporzionale alla tensione di alimentazione e corrisponde anche alla tensione differenziale del circuito di ponte Wheatstone.

Specificità: