YJJ AS200 MFC in acciaio inossidabile - Misuratore di portata massica di gas ad alta precisione - Aria - Micro-misuratore di flusso di gas

Descrizione del prodotto:

YJJ AS200 MFC in acciaio inossidabile - Misuratore di portata massica di gas ad alta precisione - Micro-misuratore di portata di gas ad aria

Caratteristiche:

Controller di portata massica di gas serie AS200

Fornisce un potente software per computer superiore basato su client gratuito

Il controller di portata massica di gas serie AS200 è adatto a vari gas convenzionali, migliorando l'accuratezza e l'affidabilità dei risultati di misurazione del controllo della portata massica di gas. L'accuratezza di ripetibilità è fino allo 0,2% F.S.;

La bassa velocità di perdita di 1x10-0 Pa·m3/sec He, la buona tenuta all'aria, garantiscono la sicurezza della produzione; Può supportare più uscite di segnale, inclusi segnali digitali, segnali analogici 1-5V e segnali analogici 4-20mA, che possono utilizzare un'unica alimentazione (+15~+28VDC), adatta a diversi scenari di lavoro; Il protocollo di comunicazione aperto standard offre comodità ai clienti per sviluppare software di controllo e acquisizione in modo indipendente; Allo stesso tempo, il prodotto fornisce anche un potente software per computer superiore basato su client gratuito, facilitando il debug e il funzionamento da parte dell'utente.

I prodotti della serie AS200 sono sviluppati da Aosong Electronics utilizzando la tecnologia MEMS avanzata. In molti aspetti come l'azionamento del sensore, il controllo dello zero drift e il controllo della valvola, sono state adottate tecnologie fondamentali per garantire le alte prestazioni, l'alta qualità e l'alta affidabilità dei prodotti. È uno strumento di alta qualità con buona stabilità, alta precisione, bassa velocità di perdita e alta resistenza alla pressione.

Il controller di portata massica di gas (MFC) serie AS200 viene utilizzato principalmente per il controllo e la misurazione precisi della portata massica di gas. AS200 svolge un ruolo importante nella ricerca e nella produzione in vari campi come la tecnologia dei circuiti integrati a semiconduttore, i materiali speciali, l'industria chimica, l'industria petrolifera, la medicina, la protezione ambientale e il vuoto. I suoi scenari applicativi tipici includono: apparecchiature di processo a circuito integrato, come epitassia, diffusione, incisione al plasma, sputtering, impianto ionico e varie apparecchiature CVD; altre apparecchiature industriali, come fusione di fibre ottiche, micro dispositivi di reazione, sistemi di miscelazione e distribuzione di gas, dispositivi di campionamento di gas, strumenti di misurazione capillare, gascromatografi e altri strumenti analitici.

Controller di portata massica di gas

Alimentazione: 15 - 24V CC (monopolare)

Intervallo di misurazione: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0.5 - 50 SLM/min

Accuratezza di ripetibilità: ±0,2% della scala completa

Tempo di risposta: 1 secondo

Ambiente operativo: 5 - 45℃

Dimensioni: 112,8 * 38 * 115 mm

Specifiche: