YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Misuratore di flusso di massa di gas termico 0,5-50 SLPM 1,5MPa

Descrizione del prodotto:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Misuratore di flusso di massa di gas termico 0,5 - 50 SLPM 1,5MPa

Caratteristiche:

I. Disassemblaggio del modello (significazioni dettagliate di ciascuna posizione)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A

MF5006: Serie DN6 (Diametro interno 6 mm, interfaccia da 1/4"

N2: gas standard = azoto (N2)

M: Principio di flusso di massa termica MEMS

E: Conchiglia di lega di alluminio

0.5: Intervallo minimo 0,5 SLPM (litri standard al minuto a 20°C / 1 atm)

50: Distanza massima 50 SLPM

15: Pressione di lavoro massima 1,5 MPa

AB: uscita = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: Con display LCD (Flusso istantaneo + cumulativo)

A: Configurazione standard (senza personalizzazione speciale)

II. Parametri di base (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A)

1. Performance di misura

Medio misurato: N2, aria, O2, Ar, CO2, ecc. Seco, pulito, privo di olio, senza gas di condensazione

Per la prova di prova, si deve indicare il valore di prova.

Intervallo (N2, 20°C / 1 atm): 0,550 SLPM (litri standard/minuto)

Accuratezza: ± 1,5% lettura + 0,2% FS

Ripetibilità: ≤ ± 0,5% FS

Ratio di gamma: 100:1 (Largo raggio, bassa sensibilità al flusso)

Tempo di risposta: ≤ 100 ms (Seguire rapidamente i cambiamenti di flusso)

Flusso iniziale: basso fino a 8 mm/s (Flusso estremamente basso misurabile)

2. elettrica e di uscita

Fonte di alimentazione: 12 ⋅ 24 VDC ± 10%, consumo di energia < 2 W

Output analogo: 4 ′ 20 mA (corrispondente a 0 ′ 50 SLPM)

Comunicazione: RS485 (Modbus-RTU), monitoraggio remoto in rete

Display: schermo LCD, visualizza flusso istantaneo (SLPM) + flusso cumulativo

3Meccanica e ambiente

Materiale dello scafo: lega di alluminio (tipo E), leggero, resistente alla corrosione

Materiale di contatto: acciaio inossidabile 316L

Pressione di lavoro: ≤ 1,5 MPa (15 bar)

Temperatura di lavoro: -20°C a +60°C

Umidità: 0 ̊95% RH (senza condensazione)

Grado di protezione: IP40 (a prova di polvere, ambiente interno / ambiente industriale generale)

Installazione: installazione orizzontale / verticale a volontà, non è richiesto un segmento di tubo retto (vantaggio della MEMS termica)

4Caratteristiche principali

MEMS termico: misurazione diretta del flusso di massa, senza compensazione di temperatura / pressione, precisioneAffetto delle fluttuazioni di temperatura / pressione

Pressione differenziale ultra-bassa: perdita minima di pressione, adatta a sistemi a bassa pressione/piccoli flussi

Alta stabilità: deriva al punto zero piccola, senza manutenzione a lungo termine

III. Principali applicazioni (misurazione precisa di piccoli fori, gas a basso flusso)

1. Semiconduttori / elettronica (Scenario di base)

Nitrogeno (N2), ossigeno (O2), argon (Ar) ad alta purezza, rapporto tra gas di processo e controllo del flusso

Controllo di precisione dei gas a flusso ridotto nelle apparecchiature per la lavorazione delle wafer, la diffusione, l'incisione e la deposizione

2Medicina / Farmacia

Monitoraggio del flusso di somministrazione di ossigeno/azoto in ospedale (respiratori, apparecchi di anestesia)

Misurazione precisa del gas sterile farmaceutico, del gas protettivo (N2/Ar)

3Laboratorio / Ricerca

Relazione di flusso ridotto, miscelazione, monitoraggio dei gas di reazione dei gas sperimentali (N2/O2/Ar/CO2)

Misurazione dei gas a basso flusso per la catalisi, la combustione, il campionamento ambientale, ecc.

4. Automatizzazione industriale

Controllo stabile del gas protettivo per saldatura a flusso ridotto (Ar/CO2)

Monitoraggio del flusso di lavorazione di precisione, apparecchiature di ispezione

Misurazione del consumo energetico di aria compressa/apparecchiature di piccole dimensioni

5Ambiente / Nuove energie

Monitoraggio dei gas di scarico a bassa concentrazione e dei gas di scarico di piccoli flussi

Misurazione del gas idrogeno a bassa concentrazione per celle a combustibile a idrogeno

Specificità: