YJJ AGP4000H00 MEMS Vacuometro composito digitale a catodo freddo ad alta precisione Pirani Vacuometro

Descrizione del prodotto:

YJJ AGP4000H00 MEMS Vacuometro composito digitale a catodo freddo ad alta precisione Pirani Vacuometro

Caratteristiche:

I. Introduzione al prodotto

Modello: AGP4000H00, vacuometro composito a gamma completa, misuratore di conducibilità termica Pirani integrato (misurazione del vuoto da atmosferico a medio) + misuratore di ionizzazione a catodo freddo (misurazione dell'alto vuoto)

Commutazione automatica a doppia modalità, non è necessario associarlo a due vacuometri indipendenti. Sonda integrata per la misurazione del vuoto in acciaio inossidabile, dotata di display locale TFT a colori. Supporta anche la connessione del segnale analogico/digitale a PLC, touch screen, host di controllo industriale.

Segni particolari: il touchscreen Prophiles AGP4000 è simile a questo modello di vacuometro, ma è un prodotto completamente diverso. L'acquisto e il collegamento dell'hardware non devono essere confusi.

II. Parametri prestazionali fondamentali

1. Intervallo di misurazione del vuoto (composito a doppio indicatore)

Intervallo di misurazione totale: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (che copre 6 ordini di grandezza, coprendo pompaggi grossolani, vuoto medio e alto vuoto durante tutto il processo)

Campo di lavoro Pirani: 1×10⁵ Pa ～ 10 Pa (sempre acceso durante tutto il processo, monitoraggio dal vuoto atmosferico al vuoto medio)

Soglia di avvio automatico del catodo freddo: <10 Pa, avvia automaticamente la misurazione della ionizzazione per il vuoto elevato al di sotto di questo livello di vuoto, senza necessità di commutazione manuale

Unità di misura: Pa / mbar / Torr, tre unità possono essere cambiate contemporaneamente, con interfacce cinese e inglese

2. Precisione e stabilità

Errore di ripetibilità: lettura ≤±5%.

Precisione della misurazione: ±30% lettura fondo scala

Velocità di risposta: risposta Pirani a livello di millisecondo; Avvio rapido e stabile a catodo freddo ad alta tensione

Caratteristiche anti-inquinamento: il catodo freddo non ha filamenti di tungsteno riscaldati, non verrà bruciato dal vapore d'olio o dalla polvere di rivestimento, ha una durata molto più lunga rispetto al misuratore di ionizzazione del catodo termico

3. Specifiche di alimentazione elettrica

Tensione di alimentazione: CC 15 ~ 30 V CC ad ampio raggio

Consumo energetico complessivo: ≤6 W

Interfaccia integrata di comunicazione/alimentazione: alimentatore integrato RJ45 + RS485

Comunicazione digitale: Modbus RTU, velocità di trasmissione 4800/9600/19200/115200 regolabile, supporta reti multi-dispositivo (indirizzo 1~255)

Uscita analogica: uscita di tensione logaritmica 0 ~ 10 V, può essere collegata direttamente a registratori, moduli analogici PLC

Quantità di commutazione: 2 relè di allarme programmabili, è possibile impostare la soglia di vuoto alto/basso per collegare pompe, valvole e spie di allarme

4. Meccanica, Ambientale, Materiali

Flangia per vuoto: flangia a sgancio rapido standard KF25, eccellente tenuta all'aria, supporta qualsiasi installazione angolare

Materiale dei contatti della cavità: acciaio inossidabile 304/316 elettrolucidato, adatto per sistemi di vuoto senza olio e sistemi di vuoto lubrificati con olio delicato

Intervallo di temperatura operativa: 5 ℃ ~ 55 ℃

Intervallo di temperatura di conservazione: -20 ℃ ~ 70 ℃

Protezione: sigillatura metallica dell'intera macchina, sonda resistente alla polvere e al lieve inquinamento da olio

Schermo: display a colori Micro TFT, visualizzazione in tempo reale del valore del vuoto, della temperatura interna, dello stato della comunicazione, spie bicolore per alto/basso vuoto

III. Principio di funzionamento

Manometro Pirani (principio di conduzione termica)

Filo del resistore di riscaldamento MEMS interno, le molecole di gas assorbono il calore, maggiore è la pressione, più veloce è la dissipazione del calore, minore è la temperatura di resistenza; il circuito raccoglie le variazioni di resistenza e converte il livello di vuoto atmosferico in 10Pa, lavorando continuamente durante tutto il processo.

Misuratore di ionizzazione a catodo freddo (scarico panning)

Quando il vuoto è inferiore a 10 Pa, carica automaticamente l'alta tensione, la ionizzazione del gas genera corrente ionica; maggiore è il vuoto, minore è la corrente ionica, misurando quindi l'intervallo di alto vuoto 10Pa~10⁻⁶Pa.

L'MCU integrato determina automaticamente l'intervallo di pressione, passa senza soluzione di continuità tra due modalità di misurazione, emette il valore del vuoto in modo uniforme, senza necessità di apparecchiature backend per eseguire la commutazione logica dell'intervallo.

IV. Vantaggi fondamentali

Il manometro singolo copre l'intera gamma del vuoto, sostituendo la tradizionale soluzione a doppia sonda "Pirani Gauge + Ionization Gauge", riducendo i costi delle apparecchiature e lo spazio di installazione; Catodo freddo senza filamento, non teme l'impatto atmosferico o l'inquinamento del rivestimento, richiede poca manutenzione, adatto alla produzione industriale continua 24 ore su 24;

Viene fornito con uno schermo a colori locale, che consente la lettura in loco dei valori del vuoto senza un computer superiore, rendendo convenienti il ​​debug e la manutenzione;

Dispone inoltre di doppie uscite analogiche 0-10 V + digitali Modbus, compatibili con touch screen Proflex, vari PLC e sistemi di acquisizione di controlli industriali;

Ampia tensione DC15~30V, compatibile con armadi per apparecchiature per alimentazione DC, forte compatibilità in siti industriali;

La flangia standard universale KF25 può essere abbinata direttamente a pompe molecolari, pompe meccaniche e tubazioni standard di camere a vuoto.

VII. Principali scenari applicativi

1. Semiconduttori, apparecchiature per rivestimento sotto vuoto (applicazione principale)

Sputtering magnetron, macchine per evaporazione, rivestimento ottico, apparecchiature per pellicole conduttive ITO

Confezionamento di wafer, pulizia al plasma, apparecchiature per incisione, monitoraggio dell'intero processo di pompaggio grossolano → curva del processo ad alto vuoto

Rilevamento di perdite nella cavità del vuoto, combinato con apparecchiature di rilevamento di perdite di elio per determinare il punto di perdita

2. Attrezzature per laboratori di ricerca

Incubatori anaerobici cellulari, armadi di essiccazione sotto vuoto, forni di sinterizzazione a pressa a caldo

Camere di simulazione climatica, banchi prova di tenuta all'aria, apparecchiature per prove di invecchiamento sotto vuoto dei materiali

Ricerca camere sperimentali ad alto vuoto, monitoraggio del vuoto della sorgente ionica

3. Batteria al litio, nuove apparecchiature per la produzione di energia

Cottura sottovuoto con batteria al litio, camera a vuoto ad iniezione, stazione di rilevamento perdite di tenuta all'aria delle celle

Sistema di evaporazione per antischiuma elettrolitico, apparecchiature per rivestimento elettrodi sotto vuoto

4. Settore aerospaziale e delle prove di precisione

Camere di prova sotto vuoto ad alta e bassa temperatura per componenti aerospaziali, apparecchiature per la simulazione dell'ambiente spaziale di veicoli spaziali

Strumenti di precisione, stazioni di calibrazione del vuoto dei sensori

5. Apparecchiature per il vuoto di supporto medico

Camere mediche a pressione negativa, apparecchiature sterili per la sterilizzazione sotto vuoto, macchine per liofilizzazione di campioni biologici

Macchine respiratorie complementari, controllo del collegamento della pressione del vuoto (può essere combinato con il collegamento del sensore CO₂ ExplorIR-M-5)

6. Automazione generale del vuoto industriale

Attrezzature per l'assorbimento della pressione negativa del vuoto, macchine per l'imballaggio sotto vuoto, controllo del collegamento del gruppo della pompa per vuoto, avvio-arresto automatico del limite di vuoto di pompe meccaniche, pompe molecolari, valvole di isolamento.

VI. Soluzioni di interfaccia di supporto (compatibili con i materiali esistenti)

Display superiore: touch screen AGP4000 Proflex, lettura dei valori del vuoto tramite Modbus RJ45, esecuzione di curve, allarmi e logica di processo automatico;

Collegamento del gas: abbinato al sensore ExplorIR-M-5 CO₂, sensore dell'odore ZP152, realizza il monitoraggio integrato del vuoto nella camera + concentrazione del gas;

Macchina medica completa: combinata con l'host di monitoraggio della sonda per ossigeno nel sangue DS100A, utilizzata per apparecchiature integrate di vuoto medico + segni vitali.

Specifiche: