YJJ AS200A008C100CJCC Controllore di Flusso di Massa di Gas MFC - Misuratore di Flusso di Gas ad Alta Precisione

Descrizione del prodotto:

YJJ AS200A008C100CJCC Controllore di flusso di massa di gas MFC - Misuratore di flusso di gas ad alta precisione

Caratteristiche:

Controllore di flusso di massa di gas serie AS200

Fornisce un potente software client-based di livello superiore gratuito

Il controllore di flusso di massa di gas serie AS200 è adatto per vari gas convenzionali, migliorando l'accuratezza e l'affidabilità dei risultati di misurazione del controllo del flusso di massa di gas. L'accuratezza di ripetibilità è fino a 0,2% F.S.;

Il basso tasso di perdita di 1x10-0 Pa·m3/sec He, una buona tenuta all'aria, garantisce la sicurezza della produzione; Può supportare più uscite di segnale, inclusi segnali digitali, segnali analogici 1-5V e segnali analogici 4-20mA, che possono utilizzare un singolo alimentatore (+15~+28VDC), adatto a diversi scenari di lavoro; Il protocollo di comunicazione aperto standard fornisce comodità ai clienti per sviluppare autonomamente software di controllo e acquisizione; Allo stesso tempo, il prodotto fornisce anche un potente software client-based di livello superiore gratuito, facilitando il debug e il funzionamento dell'utente.

I prodotti della serie AS200 sono sviluppati da Aosong Electronics utilizzando la tecnologia MEMS avanzata. In molti aspetti come l'azionamento del sensore, il controllo dello zero drift e il controllo della valvola, sono state adottate tecnologie chiave per garantire le alte prestazioni, l'alta qualità e l'alta affidabilità dei prodotti. È uno strumento di alta qualità con buona stabilità, alta precisione, basso tasso di perdita e alta resistenza alla pressione.

Il controllore di flusso di massa di gas (MFC) serie AS200 è utilizzato principalmente per il controllo e la misurazione precisi del flusso di massa di gas. L'AS200 svolge un ruolo importante nella ricerca e produzione in vari campi come la tecnologia dei circuiti integrati a semiconduttore, i materiali speciali, l'industria chimica, l'industria petrolifera, la medicina, la protezione ambientale e il vuoto. I suoi tipici scenari applicativi includono: apparecchiature di processo per circuiti integrati, come epitassia, diffusione, incisione al plasma, sputtering, impianto ionico e varie apparecchiature CVD; altre apparecchiature industriali, come fusione di fibre ottiche, dispositivi a microreattore, sistemi di miscelazione e distribuzione di gas, dispositivi di campionamento di gas, strumenti di misurazione capillare, gascromatografi e altri strumenti analitici.

Controllore di flusso di massa di gas

Alimentazione: 15 - 24V DC (monopolo)

Intervallo di misurazione: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Accuratezza di ripetibilità: ±0,2% del fondo scala

Tempo di risposta: 1 secondo

Ambiente operativo: 5 - 45℃

Dimensioni: 112,8 * 38 * 115 mm

Specifiche: