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Dettagli:
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| Completo: | 100 SCCM | Alimentazione elettrica: | Da +15 a +28 VCC (alimentazione singola) |
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| Segnale: | 0–5 V analogico; supporta la comunicazione digitale RS485 | Precisione: | ±1% FS; Ripetibilità: ±0,2% FS |
| Evidenziare: | Controllo di Flusso di Massa di Gas per la produzione di semiconduttori,sensore di flusso d'aria medico con garanzia,AS200A008C100CJCC Controllo di Flusso |
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AS200A008C100CJCC Regolatore di flusso di massa di gas per il processo di produzione di semiconduttori
Applicazioni tipiche
Processing dei semiconduttori, CVD, sistemi di distribuzione del gas, controllo dei gas di laboratorio, strumenti analitici, ecc.
Specificità:
| Tasso di perdita | 1×10−10 Pa·m3/s (He) |
| Resistenza alla pressione | 3 MPa |
| Serie di prodotti AS200 | Controller di flusso di massa di gas MEMS |
| A (tipo di sigillo) | A = sigillo di gomma; segnale: 0 ′5V input/output analogo |
| 008 (Codice del gas) | 008 corrisponde al gas specificato |
| C (unità di gamma) | C = SCCM (centimetri cubici standard al minuto) |
| 100 (in scala completa) | 100 SCCM |
| CJCC | Sufisso per interfaccia, tipo di valvola, combinazione elettrica e di montaggio |
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Persona di contatto: Xu
Telefono: 86+13352990255