Intervallo di flusso:0 ~ 100 SLPM
Precisione:±(2,0 + 0,5% FS)%
Ripetibilità:± 0,5% della lettura
Allineare:0 -100 l/min
Gas misurato:Aria, Azoto, Ossigeno, Argon, CO2
Precisione:±2%RD
Allineare:0 - 50 L/min
Precisione:± (1,5 + 0,2 × fs) % 2
Modalità di uscita:RS232 / Tensione analogica
Precisione:0,2+3%
Modello:Newport E360
Caratteristiche del prodotto:Differenziale di bassa pressione
Intervallo di flusso:Da 0 a 180 L/min (260 L/min a breve termine)
Spazio morto:<11 ml (funzionale)
Resistenza:<0,027 CMH2O/(L/min) sull'intervallo di flusso completo (-180 L/min a 180 L/min)
Dimensione della porta:5,08 mm
Materiale del guscio:Silicio
Temperatura operativa massima:+ 85 ° C.
Fluire:Da 0 a 30 l/min
Spazio morto:1,3 ml (funzionale)
Resistenza:<0,17 CMH2O/(L/min) Over
Intervallo di flusso:Da 0 a 180 L/min (260 L/min a breve termine)
Spazio morto:<11 ml (funzionale)
Resistenza:<0,027 CMH2O/(L/min)
Numero di modello:FS4003-5-R-BV-A
Utilizzo:Modulo
Condizione:Originale 100%
Tipo:Sensore di flusso d'aria di massa
Usato per:Gas secco
Allineare:Da 0 SL/min a 10 SL/min
Intervallo di misurazione:30 ~ 300 l/min
Ripetibilità:≤ ± 0,5% fs
Tempo di risposta (T90):≤ 3 s
Campo di misura:0 - 200 L/min
Ripetibilità:0,5%fs
Temperatura operativa:-10~+60℃